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YBCO高温超导薄膜在红外探测器、量子干涉器等众多领域有非常广阔的应用前景，目前制备这种薄膜的主要方法有磁控溅射，激光脉冲沉积等。本研究旨在采用溶胶—凝胶法制得具有钙钛矿结构的致密YBCO薄膜。以无机盐为出发原料研究了溶胶形成过程中的化学反应及成膜机理，探讨了Si基板上薄膜缓冲层的技术等。进一步用扫描电镜、透射电镜和X射线衍射仪研究了薄膜组织结构和结晶情况，分析了缓冲层和衬底对YBCO薄膜制备的影响、以及不同热处理条件对薄膜结晶结构及性能的影响。研究结果表明： (1)采用