频率选择表面和折叠波导分别是电磁波选择和传输的重要器件。频率选择表面是通过基本单元在二维平面的周期性延伸形成的一种空间滤波器,通过对其结构参数的设计达到对特定频段电磁波选择透过的效果。折叠波导是出于电子注能量交换而设计的一种新型波导结构,目前已经广泛应用于航天、军工等领域。太赫兹技术发展使得电磁波器件的应用频段不断提高。与此同时,器件的结构也越来越小,对加工工艺提出了更高的要求。针对频率选择表面的应用需求,为了满足其183 GHz附近低插入损耗,118 GHz处高隔离度的要求,本研究通过仿真分析各参数对频率选择表面性能的影响,综合优化设计出了满足性能指标的频率选择表面结构。设计了整套频率选择表面加工流程,通过MEMS微加工制备了高精度的单层频率选择表面。创新性地提出了基于光刻定位和激光打孔的多层对准封装方法,实现了高层数(8层)频率选择表面的高精度对准。利用太赫兹测试系统对样件的插入损耗性能进行测试,结果显示实验曲线和仿真曲线具有很好的吻合,并且当层数为8层时,183 GHz插入损耗为1.35 dB,118 GHz处隔离度为28.6 dB,基本满足指标要求。针对折叠波导,本研究从色散特性、耦合阻抗对波导结构进行初步设计。从电子注结构方面考虑,我们提出基于芯模电铸的两次光刻两次电铸的工艺路线,有效保证制备精度。为保证超细电子注通道(20μm)的位置精度和准直度,创新性的设计了聚合物丝固线机构。