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MEMS/NEMS是本世纪最令人瞩目的技术之一。随着MEMS/NEMS尺寸的微型化,其表面效应所引发的粘着、摩擦磨损等问题成为了影响MEMS/NEMS可靠运行重要因素。由于MEMS/NEMS制作工艺限制,传统的液体润滑不再适用。人们曾尝试利用SAMs膜、DLC薄膜等固体润滑薄膜来解决摩擦磨损问题。但SAMs膜耐磨性能差,而DLC薄膜等工艺条件复杂,因此限制了在MEMS/NEMS上的应用。目前MEMS/NEMS在医学上的应用日渐广泛,材料的毒性以及生物相容性成为一个医用器件不可忽略的问题。石墨烯是一种