催化剂辅助化学气相生长高结晶六方氮化硼薄膜

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【摘要】

：

纯六方氮化硼(hBN)是一种直接带隙宽禁带半导体，其禁带宽度接近6eV，在紫外发光器件及高频电子器件领域具有重要的应用前景。本研究采用微波等离子体化学气相沉积（CVD）方法制备hBN薄膜,探索催化剂对hBN薄膜CVD生长的影响规律,目的是通过在CVD过程中引入催化剂的作用获得高结晶的hBN薄膜。反应气源采用He-N2-BF3-H2的气体，基材采用(100)取向的单晶Si片。研究了催化剂的选择及其制

【作者】

：

朱二涛

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2010年06期

【关键词】

：

六方氮化硼催化剂化学气相沉积薄膜

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