良率直接决定了一个FAB(集成电路生产工厂)的赢收,如果能够建立一套完善的良率管理系统,通过对集成电路制造过程中上百步骤和各式各样的数据进行有效的管理,进而作可靠的分析。这套系统能够代替人工的缓慢摸索和寻找良率下降的原因,使良率得以快速提升和保持提升后的稳定,确保企业获得最大利润,对半导体制造业具有重要意义。良率管理系统首先要研究和解决对良率数据的管理,论文运用先进的数据挖掘方式对晶圆进行图形判别归类。在此基础上,开发了晶圆失效图形自动识别系统,该识别系统颠覆了传统的依靠工程师人工对晶圆图进行逐一检查的工作模式:1,论文工作通过量化的参数的设定,避免了主观因素对判别结果的影响;2,建立了自动判别功能模块,对晶圆图进行实时检验,通过判别使工程师可以快速地从一系列纷繁复杂的数据中找到问题根源。晶圆失效图形自动识别系统优化了传统的良率管理操作过程,大大缩短了提升良率的周期。并有效地将该系统应用在半导体制造业中。论文工作还成功地将晶圆失效图形自动识别系统应用于集成电路制造的三种方面:自动放货系统、芯片降级处理系统和基于晶圆失效图形自动识别系统的后续自动数据分析。论文继而通过大量的应用实例证明了晶圆失效图形自动识别系统以及三套衍生系统在生产实践中所产生的实用价值。论文研究和开发的晶圆失效图形自动识别系统优化了良率管理过程,论文成果已经在中芯国际半导体制造有限公司获得了应用,解决了目前良率管理系统中最大的瓶颈,为竞争日益激烈的上海半导体制造业作出贡献。