论文部分内容阅读
随着IC生产技术的不断提高,IC产业所需晶体硅圆片直径不断增大,为了满足硅圆片加工的需要,晶体硅片切割设备向高精度、高自动化及高智能化的方向发展,晶体粘料机智能化是目前晶体硅片切割加工设备中的一项新技术,可以提高晶体硅片切割的精度和自动化程度。
粘料机的智能控制部分采用Cygnal公司的C8051F005高速微控制器作为核心部件,利用系统内部集成的模数转换器实现数据的采集。控制系统可以在工作模式和参数设置两种状态下进行切换。在工作模式下,系统实现对电控回转台的控制。角度值和X射线测量值的变化可以通过液晶和动态棒柱来显示,还可以通过声音频率的变化来提示操作人员;在参数设置模式下,操作人员可以根据不同的工作环境和操作习惯预先设置系统的工作参数,使系统可以工作在理想的工作状态。设置的参数可以保存在FLASH中,当系统重新启动的时,将检测FLASH中保存的参数,如果由于异常事件导致参数出错,可以重新设置。
本论文介绍了控制系统的研制全过程,详细地介绍了硬件和软件设计,硬件包括液晶显示接口电路、动态棒柱和电机驱动接口电路、光码盘信号的处理电路和模拟信号的放大电路等等;软件设计中包括微控制器的资源配置程序、外部设备驱动程序、控制程序、芯片内各个模块的寄存器初始化和使用,还有模数转换器(ADC)、串行外设接口(SPI)、FLASH和各个定时器等应用程序。同时介绍了在硬件和软件调试上遇到的各种问题以及解决方法,最后介绍了控制系统在硬件和软件上采取的抗干扰措施,另外论文总结了控制系统的特点,指出了控制系统中不够完善、有待改善的地方。