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该文通过对氧化铪(HfO<,2>)靶材冷等静压成形工艺与烧结成形工艺的试验研究,讨论了HfO<,2>粉末冷压成形及其压坯烧结的影响因素.
氧化铪磁控溅射靶冷等静压成形与烧结工艺的研究
【摘 要】
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该文通过对氧化铪(HfO)靶材冷等静压成形工艺与烧结成形工艺的试验研究,讨论了HfO粉末冷压成形及其压坯烧结的影响因素.
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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北京有色金属研究总院
【发表日期】
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1999年期
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