窄带滤光片是DWDM光纤通信系统中的关键器件之一,它一般是全介质滤光片,即间隔层与反射层都通过镀制介质薄膜形成,镀制难度高,成品率低,成本高。本文提出的固体腔窄带滤光片的间隔层干涉级次相对较高,可以极大降低镀制难度和成本,而且温度稳定性好。本文分析了目前各种形式的窄带滤光片,提出采用固体材料作为窄带滤光片的间隔层,从而得到了固体腔窄带滤光片。然后在特性分析、设计优化、膜系灵敏度分析、监控方式和实际镀制工艺等方面对它进行了深入的理论分析和实验研究。在理论研究方面,首先从电磁场传播的麦克斯韦方程出发,对薄膜的光学特性进行了系统的理论分析。然后讨论了间隔层厚度、反射层的反射率对滤光片光谱特性的影响。给出单固体腔窄带滤光片的设计方法。针对多固体腔窄带滤光片,根据其通带的矩形度与纹波特性提出了膜系设计的评价函数。以多个单腔滤光片的组合规律为基础,编制程序对多腔窄带滤光片进行了自动优化设计,并发现若多腔窄带滤光片各单腔干涉级次不同,可以有效的提高自由光谱范围。最后设计出DWDM系统100GHz多固体腔窄带滤光片。在实验研究方面,介绍了固体腔窄带滤光片总体制备过程。就光电极值法的监控精度进行了分析,提出了一些提高监控精度的改进方法。分析了工艺因素对薄膜性能的影响,并确定了在南光ZZS700-6/G镀膜机上镀制滤光片反射膜的了工艺参数和工艺流程。最后对研制的单固体腔和双固体腔窄带滤光片进行了光谱特性测试,结果与设计一致。