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衍射光栅是一种具有良好分光性的光学元件。在光波分束器、波分复用器、传感器和光谱测量中有着广阔的应用前景,且在集成光学领域取得了广泛研究。铌酸锂(LiNbO3)材料具有高透光率和低传输损耗等特点,常用于制备光波导和衍射光栅。但LiNbO3材料的抗光损伤阈值较低,一般用物理法制备光栅容易使材料产生缺陷,而纯化学法加工则可避免材料缺陷的产生,表现出较强的加工优势。因此,本论文主要采用感光溶胶-凝胶法制备高密度、高槽深的LiNbO3光栅,并研究其形貌对光栅衍射效率的影响。此论文的研究为制作LiNbO3波导及