近年来，随着微电子技术和微机电系统的快速发展以及人们对微型化、智能化多功能集成化产品的迫切需求，微型零件的需求量急剧增加，而微塑性成形技术具有大批量、高效率、高精度、高密集、短周期、低成本、无污染、净成形等一些特有的优点，因而受到广泛的关注与研究。近年来在尺度效应、材料成形性能、成形工艺及分析上，发表了大量的文献，取得了众多学术成果。但如果要让微成形技术真正从实验室走向市场，高精高效微成形设备的研发至关重要。论文中首先根据国内外关于微塑性成形技术的研究现状，对微塑性成形技术的基本理论和关键技术进行总结和阐述。通过基于Marc的有限元技术进行微弯曲模拟实验，分析网格模型和摩擦系数对模拟分析结果的影响；同时结合纯钛薄板的微弯曲的模拟实验结果，从弯曲力、回弹量、减薄率和残余应力四个方面分析和验证微塑性成形的一些特点和规律。经过反复讨论和验证，提出相对可靠的整体设计方案和自动控制方式以适应微塑性成形工艺的需要。在后续的详细设计中，主要对整套设备的关键零部件进行详细设计、校核和模拟，比如主伺服电机、工作台驱动伺服电机、曲轴、连杆、滑块、超负荷保险装置、导向装置和床身等等；电磁制动器、行星齿轮减速器、单双列深沟球轴承、联轴器、光栅微位移传感器、角位移传感器和光栅尺等做了简要阐述。微塑性成形系统实验平台的研发主要从以下四个方面着手：第一，利用永磁同步伺服电机、PLC和PC来控制滑块体的速度和位置，从而获得材料微塑性成形过程中的最佳工艺曲线，保证以最优的工艺曲线成形出高质量的产品。第二，设备在频繁制动过程中可以通过三菱伺服电机的再生制动模块将制动过程中的电能聚集起来，为微塑性成形过程提供瞬时高峰负荷，可以节约大量能源。第三，根据微塑性成形的特点，设计基于磁悬浮原理的精密定位工作台，该工作台结合伺服电机、传感器和丝杠螺母副，可以补偿滑块体在导向过程中所产生的的误差和由于振动所引起的模具水平方向的偏移量，弥补微成形模具无法安装精密导向装置的缺陷。第四，利用滚动导柱和板式滚柱链相结合的方式，提高导向的稳定性和导向精度。本文研发的微塑性成形系统平台具有结构简单、操作方便、高柔性、低成本、高精度等特点，是较能满足教育性学校实验要求的新型高精度微塑性成形设备，并能经过后续的持续改进而应用到实际生产中，解决微型零件无法大批量生产的问题，从而促进微塑性成形技术的研究和相关配套设备的研发。