【摘 要】
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简单介绍了使用紫外集成生物芯片进行对生物战剂进行探测的原理。本文设计并制作了一种PDMS微流通道,可以在紫外集成生物芯片中作为试样的流动通道。本文以PDMS硅橡胶作为材
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简单介绍了使用紫外集成生物芯片进行对生物战剂进行探测的原理。本文设计并制作了一种PDMS微流通道,可以在紫外集成生物芯片中作为试样的流动通道。本文以PDMS硅橡胶作为材料,使用再铸模法进行了微流通道基片的制作。工艺过程包括设计PDMS微流通道的结构,制作光刻掩膜版,利用光刻以及刻蚀工艺制作出硅阴模,使用基质/固化剂配比为10：l的PDMS材料通过两次模塑成型过程制作了PDMS基片。研究了PDMS聚合物配比对粘结强度的影响以及表面改性处理技术后,决定使用基质/固化剂配比为5：1的PDMS材料制作出盖片,与基片一同在汞灯下照射3.5h以完成紫外光照表面改性后进行不可逆键合,完成了PDMS微流通道的制作并讨论了键合机理。
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