涂覆法树脂结合剂金刚石线锯技术研究

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随着半导体、太阳能电池等行业的迅速发展,半导体硅、石英晶体等硬脆材料得到广泛应用。这些脆硬材料在生产加工中往往需要切片,而脆硬材料切片的方式,根据磨料类型可分为游离磨料和固结磨料两类切片方式。目前,用于硅、石英晶体等脆性材料切片主要采用游离磨料多丝线锯切片,但这种切片技术存在环境污染严重、工序长、切削效率低、硅棒切割损耗大等不足,势必被固结磨料的金刚石线所取代。固结磨料金刚石线锯切片技术因具有高效率、低损耗、切片质量好、环境污染少等优点,受到人们的亲睐。常用的固结金刚石线锯制造技术主要有电镀法和树脂结合剂法。相比电镀金刚石线锯制造工艺,树脂结合剂金刚石线锯具有制作工艺简单,生产成本低,生产效率高,更加环保等优点,且目前国内尚无成熟的产业化树脂结合剂金刚石线锯技术,因此研制树脂结合剂金刚石线锯技术具有重要的现实意义。本论文对树脂结合剂金刚石线锯技术进行了研究,分析了树脂结合剂中各种成分对结合剂性能的影响,确定了树脂结合剂的最佳配方,探讨了树脂结合剂金刚石线锯制造工艺,主要研究内容如下:  (1)选择封闭型聚氨酯作为树脂结合剂基料,探索了封闭型聚氨酯预聚体封闭和解封工艺条件。通过单因素分析,确定封闭型聚氨酯预聚体制备的最佳工艺条件:反应温度为60℃,反应时间为1.5~2h,n(活泼H)/n(-NCO)大于1.5时,封闭完全;极性溶剂对封闭反应有利。对封闭预聚体解封反应进行探讨,初始解封温度为110℃,最快解封速率温度为220℃,解封时间为15~90min。封闭型聚氨酯树脂结合剂剪切强度小于5Mpa,达不到线锯要求,考虑作为其他树脂增韧剂。  (2)研究了聚氨酯改性环氧树脂结合剂的制备工艺,通过采用高性能树脂、纳米填料、偶联剂等手段改善树脂结合剂机械性能。通过正交试验,分析了各种组分对结合剂性能影响的规律,并得出了各组分最佳配比:环氧树脂与热固性酚醛树脂的比例为0.4(相对环氧树脂质量)、增韧剂聚氨酯树脂含量为20%(相对环氧树脂质量)、纳米白炭黑的含量为7%(相对环氧树脂质量)、偶联剂的含量为10%(相对白炭黑质量)。  (3)探讨了树脂结合剂金刚石线锯制造工艺流程:预处理→混料→涂覆→固化。选用琴钢丝作为线锯基体,金刚石磨料浓度为50%-100%。采用高速剪切技术进行混料,,用自行设计的涂附工具进行涂覆。最后对结合剂固化工艺进行研究,确定树脂的固化工艺为:前固化60℃/0.5h,固化150℃/1h,后固化温度为175℃/1h。
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