近几年，随着制造业的迅猛发展，其生产规模不断地扩大，制造工艺也日益复杂。在当今国际化的大环境下，半导体市场以技术含量高、制造工艺精细、原材料成本高、产品生产周期短、信息交流速度快的特征，使得其竞争更为激烈。半导体制造流程复杂和专业性很强，使其生产管理成为具有挑战性的课题。因此，拥有一套适应企业业务变化发展需求、可扩展的、高可靠的，高可用的，可集成的MES的生产管理软件尤为重要。MES系统是制造业生产系统的核心组成部分，由于没有形成产业体系，没有现成的系统以及模型可以参考和借鉴，大家都处于一个摸索的状态。因此使得其发展历程相当漫长和艰辛。然而，由于半导体行业的特殊性，如何实施MES与其他生产系统的整合，以提高公司竞争力，成为半导体制造企业制造系统的主要问题。本文首先分析了MES系统技术的国内外发展状况，阐述了MES制造执行系统的功能模型及概念。接着阐述了半导体制造业的行业背景，半导体MES技术及发展趋势。阐述了MES应用的半导体行业特性，以及MES技术应用对于半导体制造业实现高效的现实意义。并结合半导体行业特征讨论了半导体工厂的MES系统架构、功能模块以及MES整合实现过程及应用效果。本文在充分了解及分析国内外半导体及其MES的发展状况，通过对所在半导体公司面临的问题以及对其现有的MES系统结构进行分析，提出了一套MES系统整合的方案并在实践中实现其整合方案，从而解决了公司的MES系统与外部系统的整合，有效地指导工厂的生产控制，同时提高了工厂及时生产能力、改善了物料的流通，提高生产效率，以适应公司发展的需要。