具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜特性及其在气体检测中的应用

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气敏传感器广泛地应用于有毒气体、可燃气体、温室效应气体、工业废气等气体浓度的监控与检测中。具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜(GMF)在低磁场的驱动下,显现出强磁致伸缩效应、高机电耦合系数、高响应速度、高灵敏度、非接触式驱动、易于集成化、微型化等优点,使其在检测复杂恶劣环境中的气体浓度时,不仅可以保证检测人员的安全,而且具有很高的精度和灵敏度,因而在气敏微传感器领域中显示出良好的应用前景。具有气敏涂层的GMF的动态特性、驱动方法及检测原理是其在气体检测传感器中应用的前提。本论文在设计了一套具有气敏涂层的G
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