【摘 要】
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本文研究了用于位移测量的数字散斑干涉术(DSPI),基于DSPI原理,设计了一种DSPI光学装置,此装置由泰曼-格林干涉系统组成,用于测量粗糙物体表面。利用该装置进行了数字散斑干
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本文研究了用于位移测量的数字散斑干涉术(DSPI),基于DSPI原理,设计了一种DSPI光学装置,此装置由泰曼-格林干涉系统组成,用于测量粗糙物体表面。利用该装置进行了数字散斑干涉实验研究,其基本原理是在散斑场中引入参考光,使散斑场与参考光干涉,用CCD接收散斑干涉条纹,输入计算机存储并进行数字图像处理。根据散斑图像高噪声的特点,提出了采用相减模式来处理图像,即存储在CCD中变形前的散斑干涉场的图像和变形后的散斑干涉场的图像相减并且取绝对值,得到包含物体位移信息的相关条纹图,可由相关条纹计算物体的位移量。最后,本文介绍和对比了几种典型的滤波方法,通过滤波处理,相关条纹更加容易判读。
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