光纤光栅传感技术的迅猛发展对波长调制技术提出了更高的要求,传统的基于压电陶瓷的可调谐光纤滤波器的性能有很大的局限,小型化、集成化、窄线宽、电控、高速调谐已成为研究的目标,硅基光波导器件的研究为新型滤波器提供了新的技术手段。本文针对光纤光栅传感调制技术的需求,分析不同原理和工艺的滤波器的优缺点,提出了一种基于硅基衬底的电控波长调制滤波器的设计。本文首先描述了硅基光栅的耦合原理和硅基光栅电控波长调制滤波器的波长调制原理。波长调制滤波器的调制方式分为热光调制和电光调制两种。本文在第四章利用RSOFT软件对硅基光栅的特性进行了模拟仿真。主要包括:硅基光栅模场分布仿真、硅基光栅折射率分布仿真、硅基光栅传输光谱仿真等。改变硅基光栅齿幅、长度等参数,观察硅基光栅传输光谱线宽的的改变,以此为依据优化硅基光栅的参数设计。本文通过改变硅材料折射率的方法间接模拟了硅基光栅波长调制滤波器的热光调制,为硅基光栅调制结构的设计提供仿真依据。本文在第五章对硅基光栅电控波长调制滤波器的结构进行了设计,并对其各部分的工艺流程进行了设计。本文研究的硅基光栅电控波长调制滤波器具有件体积小巧、集成度高、调制方式灵活的优点,在光纤光栅传感解调领域具有广阔的应用前景。