论文部分内容阅读
随着超精密工程的迅猛发展，精密仪器对其工作环境的稳定性提出了越来越高的要求。精密仪器在工作环境中经常受到外界微振动的干扰，其中高频微幅的振动干扰可以通过被动隔振方式将其隔离，而低频多自由度微幅的振动干扰则需要通过多自由度主动隔振平台将其隔离。超磁致伸缩材料在超精密驱动工程中有着广泛的应用，它有响应快速，应变大，输出应力大，控制精度高等优点，同时也具有非线性、滞回等缺点，使得材料的理论建模和控制具有一定困难。现有的超精密驱动器，无法兼备大行程、大负载、高效率、高稳定性的需求。面向这一需求，在原