基于ANSYS软件的微通道内气体流动数值模拟分析

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【摘要】

：

微机电系统(MEMS)是20世纪末兴起,并在21世纪初开始快速发展的高科技前沿领域。微通道是组成微机电系统的一个非常重要的组件,它是联结MEMS中各元件的纽带。随着微机电系统的研究和开发,微器件及其微通道特征尺寸的进一步变小,经典的宏观流体力学模型不再适用于微通道内气体流动的分析,于是出现了气体微流动研究领域。微通道内气体流动与宏观流动相比有其独特性,分析和探讨其流动规律对于微机电系统的应用有很重

【作者】

：

金志敏

【机构】

：

东华大学

【发表日期】

：

2013年01期

【关键词】

：

微通道稀薄气体效应边界滑移 ANSYS Fluent 泊肃叶流库爱特流

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