双靶反应磁控共溅射制备氧化锌基透明导电薄膜的研究

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铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜,具有良好的光电学性能,同时原料丰富、成本低、无毒,而在平板显示器、薄膜太阳能电池、触摸屏等光电设备上有较好的应用前景,是目前替代氧化铟锡(ITO)主流透明导电薄膜的研究热点。实现AZO薄膜的低成本制备,同时提高其光电性能,对于降低光电器件的成本具有重大意义。磁控溅射法因具有沉积速率高、基底温度较低且薄膜的附着性好等优点,而被研究者广泛用来制备AZO薄膜。不同于常规的AZO陶瓷靶材,本文以金属Zn和Al为靶材,采用双靶反应磁控共溅射法,以期更低成本地制备出AZO透明
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