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钙钛矿结构氧化物薄膜是当前国际上备受关注的功能材料,在微电子学、光电子学以及半导体器件等方面具有广阔的应用前景。本论文选取几种重要的钙钛矿结构氧化物薄膜材料,围绕薄膜以及铁电薄膜/导电氧化物薄膜异质结构的制备、电学性质、过渡金属掺杂及光学性质进行研究,取得了一些有意义的结果。主要内容如下:1. 采用溶液化学方法在Si(100)衬底上制备LaNiO3(LNO)导电薄膜,研究了不同退火温度对薄膜结构的影响。发现在较低退火温度下得到(110)择优取向的LNO薄膜,较高退火温度下得到(