基于光学干涉检测的若干应用研究

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近年来,随着光电技术的飞速发展,光学干涉检测因其高精度、高灵敏度、实时、全场测量、无损等优点在超精密加工、国防军工、生命科学等领域应用广泛。在力学实验中,对被测物体进行干涉检测,获得干涉条纹图,并对干涉条纹的变化进行深入分析来解决实际问题至关重要。本文基于光学干涉检测对若干个应用进行了详细分析,具体内容为:1.介绍了光学干涉的原理和相移干涉算法,并对时间序列位相提取算法的灰度型信号与位相型信号进行了分析讨论。2.介绍了基于马赫-曾德尔干涉仪搭建的晶体生长实时监测系统,并分析了其观测原理以及图像分析处理软件的诸多功能,同时对人为引入凹槽后的晶体生长液池进行了介绍。3.提出了一种基于干涉的蛋白质生长过程中溶液浓度变化解析方法。结合位相校正方法以及位相变化与浓度变化之间的关系,计算得到溶液浓度曲线;将实验组与对照组溶液浓度曲线相减得到蛋白质位相曲线;针对水分蒸发与溶质吸附之间动态关系进行讨论,仅分析蛋白质位相曲线上升阶段,并消除蒸气压差影响,得到单一因素对蛋白质结晶过程的影响,为研究沉淀剂、添加剂等对蛋白质结晶过程的影响提供了一种新的方法。4.提出了一种基于位移补偿的离面位移实时追踪算法,详细介绍了位移补偿测量原理以及追踪算法原理。算法利用Gabor模板与位移前后的干涉条纹图子区进行卷积匹配,得到与相应子区重合的模板,计算模板位相变化量,求得位移大小及方向。在实验系统中,算法可以实现量程为210μm、测量分辨率为20nm以及时间分辨率为200ms的离面位移测量,又由于无需复杂的精确位相计算,因此拥有较强的抗散斑噪声性能。
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