Fe基过滤金属合金薄膜的制备和高频磁性

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随着信息技术的发展,对软磁材料的性能提出了更高的要求。近几年,由于电子元器件向微型化、高频化、薄膜化、集成化等方向发展,造成作为电子器件基础的功能材料需要满足更高的要求。为了适应磁性薄膜器件的需求,具有高的磁导率并且共振频率在GHz以上的软磁薄膜已成为磁性材料研究领域的热点。本文中,我们采用射频磁控溅射方法在Si(111)衬底和导电玻璃上制备了FeNi、FeCo、FeNi-FeCo和FeCo-SiO2磁性薄膜,通过X射线衍射、扫描电镜、振动样品磁强计、矢量网络分析仪研究了样品的结构、静态磁性
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