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蓝宝石所具有的一系列优异性能，决定了它是目前作为中波红外窗口与头罩的最有前途的材料。但是，限于目前的材料制备和加工技术水平，蓝宝石的高温强度大幅度下降，红外透过率也满足不了设计使用要求。因此在蓝宝石表面镀制增透保护涂层就成为满足其在高速、高温下应用的关键技术。氧化硅(SiO_2)膜具有优良的物理、化学性能，并且与蓝宝石附着良好，非常适合用作提高蓝宝石高温强度及增透涂层。在国外，SiO_2用作蓝宝石增透保护涂层的研究已经展开，并取得进展；而在国内，这方面的研究还未见报道。本文主要开展了蓝宝石衬底上氧化