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氮化硅微金字塔结构化薄膜具有宽波段的减反射效果,基于微机电系统的传统制备方法只能获取底面角度为直角的微金字塔结构。本文发挥单点金刚石切削制备微金字塔结构的优势,通过对切削方向的调整,实现了对微金字塔结构阵列底面角度的0°～90°的控制。通过对底面角度可变的氮化硅微金字塔结构化薄膜的近场光场调制特性的仿真分析与实验研究,证明了薄膜光学微金字塔结构化薄膜可以实现对光束传播方向与能量分布进行调制,改变微金字塔结构的底面角度,可以让光波按照底角的设计传播,这一现象为为光电系统的光路设计提供了更广的自由度。针