射频磁控溅射大尺寸ZnO:Al薄膜生长工艺及性能研究

被引量 : 2次 | 上传用户：lideqiang163com

【摘要】

：

透明导电薄膜(TCO)具有低的电阻率、可见光范围高的透射率,由于其独特的电学和光学特性,在众多领域得到了广泛的应用。相对于ITO材料,Al掺杂ZnO(AZO薄膜)透明导电薄膜原料来源丰富、价格低廉、无毒,而且在氢等离子体气氛中比ITO薄膜稳定的优点,是理想的透明氧化物材料。本课题采用射频磁控溅射方法,以ZnO:Al2O3(2wt% Al2O3)为靶材在大尺寸衬底玻璃(300×300mm)上制备Zn

【作者】

：

张文杰

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2010年06期

【关键词】

：

射频磁控溅射透明导电薄膜 ZnO:Al薄膜光电性能

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

电阻焊CAPP系统研究

本文主要分析了目前国内外焊接 CAPP系统研究的应用和发展现状及现有焊接 CAPP系统中存在的问题，根据某航空制造企业实际电阻焊工艺设计过程和参照企业相关标准，采用软件工程思

学位

电阻焊CAPP系统C/S结构电阻焊工艺数据建模程序设计

做老实人是打赢疫情阻击战的关键

打赢新冠肺炎阻击战,每个人、每个企业都是战士,其基本战斗要求就是按照“阻断”病毒传播的办法老老实实去做,不做病毒的传染扩散“中介”.浙江、山东、湖北三个监狱疫情破局

期刊

对车用汽油全项目分析流程优化的探讨

本文通过对荣华二采区10

期刊

氟环唑·烯肟菌酯在苹果中的残留动态研究

本文主要研究了18%氟环唑·烯肟菌酯悬浮剂农药在苹果和土壤中的残留分析方法、消解动态规律及其最终残留量,以期对18%氟环唑·烯肟菌酯悬浮剂在苹果上的安全性使用进行评价,

学位

18%氟环唑·烯肟菌酯苹果残留动态气相色谱分析

镁合金/PLA复合材料的制备与降解性能研究

镁合金/聚乳酸(PLA)复合材料兼具镁合金的高强度和聚乳酸降解可控的性能优势，同时镁合金的降解产物呈碱性，能中和聚乳酸降解导致的局部酸性变化，是理想的可吸收骨科材料。本文采

学位

医用复合材料聚乳酸镁合金拉拔工艺退火处理丝材体积分数降解性能

浅谈如何讲解道德与法治课程

在初中阶段,道德与法治不是三大主科之一,但是它的重要程度不亚于语文、数学、英语三大主科.当今社会语文、数学、英语的学习固然重要,但是对于学生个人的素质以及品德的熏陶

期刊

道德与法治核心素养法治意识

基于可逆吸放氢过程的镁基材料储热性能及储能装置研究

本文利用行星式球磨机制备了氢化态Mg-3Ni-2MnO2复合材料;利用XRD、SEM等分析手段,检测了颗粒大小及微观组织的变化;通过自制装置测试了Mg-3Ni-2MnO2复合材料反应床实用化条

学位

储热材料储放热性能吸氢放热耦合蓄热储能装置

纺织劳模工匠助力湖北复工复产,爱心食品捐赠武汉纺企职工

4 月23 日,由纺织行业劳模工匠购买的饱含深情厚谊的275 斤随州香菇,从湖北省随州市发往武汉,赠送给在此次新冠肺炎疫情中感染患病和在疫情中冒着生命危险为武汉社区贡献力量

期刊

全球疫情,难撼中国粮食安全!

要不要囤粮rn农业农村部发展规划司司长魏百刚表示,很多人现在关心粮食够不够吃,要不要囤积?这里可以分享四组数据,有助于消除大家对这个问题的顾虑:rn一是粮食产量.这些年我

期刊

模板法制备多功能界面材料及其性能研究

自然界中存在许多奇妙的现象,这些现象的存在常常与生物自身所具有的特殊结构具有密切的联系。本文首先简要地介绍了自然界中存在的一些新奇的特性以及这些特性与自身结构之

学位

蝴蝶复眼光子晶体抗润湿抗反射多功能复制纳米球平版印刷

射频磁控溅射大尺寸ZnO:Al薄膜生长工艺及性能研究

与本文相关的学术论文