本文在太阳能电池透明导电层的绒面陷光理论基础上,研究了不同导电层制备工艺参数和表面刻蚀处理工艺条件对ZnO薄膜表面形貌特征的影响,以及研究了不同表面修饰方法处理的ZnO:Al薄膜应用于非晶硅电池对其性能的影响。本论文主要的研究结果如下:(1)本实验中采用集磁控溅射和PECVD为一体的薄膜制备设备制备得到了 ZnO纳米薄膜以及覆盖在非晶硅太阳能电池p、i、n腔室上的复合涂层。(2)研究了制备工艺参数、酸刻蚀以及后续的热处理工艺对ZnO:Al薄膜表面形貌的影响,获得了表面形貌可调控的ZnO:Al薄膜以及最优化的工艺参数。实验发现了制备得到的ZnO:Al薄膜的表面形貌和导电、透光性能与制备工艺间的关系。(3)研究经过不同处理工艺的ZnO:Al薄膜对非晶硅电池影响。本论文中制备的非晶硅太阳能电池为P型SiC层、本征非晶硅层、n型c-Si层。根据绒面陷光原理,将经过不同刻蚀工艺制备的ZnO:Al薄膜沉积在上述非晶硅太阳能电池表面。实验结果表明,采用HCl+磷酸+退火工艺处理的ZnO:Al薄膜效果最佳,可以将太阳能电池的光电转换效率从开始的3.81%提升至8.39%。