近年来，纳米薄膜的结构特殊，是一种有着良好性能的新型薄膜材料。纳米膜技术被应用于科学技术的各个领域，改变着人们的传统生产观念。一般的薄膜是生长而成的，这是极其复杂的动力学过程，生长过程及其相互作用影响着薄膜的微观结构和性能。计算模拟技术的成熟，在原子尺度上模拟了原子和分子的成膜过程，使得实验中无法直接观察的过程实现可视化。　　本文利用蒙特卡罗法(Monte Carlo)构造了单原子Ag、二元金属Ti-Al以及多原子Ti-Si-N的薄膜生长模型，从微观角度研究了其三维生长过程。Ag薄膜模型为六边形基底网格，Ti-Al薄膜和Ti-Si-N薄膜模型为四边形基底网格，并采用周期性边界条件处理边界问题。薄膜生长主要考虑了三个动力学过程，即沉积、扩散和脱附，并利用半经验对势来计算原子的扩散激活能。三个过程相互独立且依据各自的概率发生，但同时扩散和脱附过程又与沉积过程息息相关，通过模拟计算，详细地分析了在薄膜生长初期基底温度和沉积速率对岛过渡形态的影响。　　模拟结果表明:在薄膜生长过程中，随着基底温度的逐渐升高，岛的数量减少，尺寸增加，薄膜表面渐渐光滑，粗糙度减小。温度的升高加强了原子的扩散能力，使得更多的孤立原子被岛捕获，增加了岛与岛合并的机会。沉积速率决定了粒子的迁移速率，降低沉积速率的模拟结果与升高基底温度相似。沉积速率较小时，粒子有充足的时间进行迁移。温度的升高和沉积速率的降低，使薄膜生长模式发生转变，由岛状生长转化为层状生长。