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基于纳米硅孔柱阵列的SnO2-TiO2复合薄膜的制备及性能研究

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【摘要】

：

纳米硅孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)特殊的微米/纳米双重结构大大的增加了Si-NPA的比表面积,Si-NPA上排布着大量整齐有序的硅柱,硅柱顶端为纳米孔隙,这样的双重结构更加有利于水分子吸附在Si-NPA表面。硅柱之间的间隙可以作为水蒸气的传输通道,加快了湿敏器件的响应时间。TiO_2和SnO_2的水蒸气吸附性好、稳定性高,是作为湿度敏感材

【作者】

：

【机构】

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黑龙江大学

【发表日期】

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2018年03期

【关键词】

：

复合薄膜二氧化锡二氧化钛制备工艺纳米硅孔柱阵列湿敏性能

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纳米硅孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)特殊的微米/纳米双重结构大大的增加了Si-NPA的比表面积,Si-NPA上排布着大量整齐有序的硅柱,硅柱顶端为纳米孔隙,这样的双重结构更加有利于水分子吸附在Si-NPA表面。硅柱之间的间隙可以作为水蒸气的传输通道,加快了湿敏器件的响应时间。TiO_2和SnO_2的水蒸气吸附性好、稳定性高,是作为湿度敏感材料的首要选择。本文将TiO_2、SnO_2和Si-NPA相结合形成新型材料,并研究该新型复合材料的湿度敏

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