【摘 要】
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氧化钒具有多种价态共同存在的性质,其中VO2以其独特优异的光学特性而得到广泛的研究。当温度升高到68℃左右,VO2会发生半导体相到金属相的转变,光学性能也会随之发生突变,这
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氧化钒具有多种价态共同存在的性质,其中VO2以其独特优异的光学特性而得到广泛的研究。当温度升高到68℃左右,VO2会发生半导体相到金属相的转变,光学性能也会随之发生突变,这使得VO2薄膜在温度控制领域具有光明的研究前景。近年来VO2在智能控温窗、激光防护等很多方面取得了很好的研究成果。本文采用有机溶胶凝胶法成功制备了具有温致相变性能的VO2薄膜。尝试对VO2薄膜掺杂W6+以降低其相变温度；所得到VO2薄膜的透过率较低,经过对TiO2薄膜的前期探索制备了TiO2/VO2复合结构薄膜来达到提高薄膜透过率的目的。采用XRD分析了所制得薄膜的物相,SEM观测了薄膜表面形貌和薄膜厚度,红外-可见分光光度计测试了常温、高温下的薄膜透过率及相变温度。结果表明提拉速度为90mm/min、在550℃的氮气氛围下退火18min所得纯氧化钒薄膜可见光区透过率为45%；常温下红外区的透过率约为55%,当薄膜加热到80℃时,薄膜远红外区透过率降到35%,降低幅度达到36.4%；相变温度为60℃,较理论上的68℃有稍微的降低。TiO2/VO2多层结构使得薄膜红外光区透过率升高。
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