微细电火花加工是用可控电能在电极和工具间形成火花放电来移除被加工材料的非传统加工技术,可对各类导体和半导体材料、特别是传统接触式加工难于或不能加工的特殊材料、特殊结构以及复杂形状零部件进行高效、精密加工。而微细电火花脉冲电源作为控制火花放电能量和放电频率的关键装置,直接影响着电火花加工的加工速度、加工质量、生产率、工具电极损耗、以及加工过程的稳定性等指标。本文分别总结了RC式、独立式以及双极性脉冲电源的工作原理以及拓扑发展;研究了微细电火花加工中放电间隙的特性;建立了包含寄生参数和放电间隙的RC式脉冲电源等效电路模型;通过电气仿真和放电实验分析了RC式脉冲电源中寄生参数对间隙放电波形的影响,验证了等效电路模型的合理性。针对微细电火花加工中RC式脉冲电源加工效率低及单极性加工的问题,本文提出一种新型微细电火花脉冲电源,其既可以实现无阻高效加工,又可以实现双极性加工;同时提出了恒频等能量的放电能量控制策略,实现较好的放电一致性。在实验室设计了脉冲电源实验样机,并在电火花打孔机床上进行了放电实验,验证了双极性加工的可行性和恒频等能量的放电能量控制策略。