便携式光谱仪结构轻便小巧,成本较低,能够在多种场合实时现场地进行光谱测量,具有重要的实用价值。光谱分辨率是衡量光谱仪器的一个重要指标,但是由于受到色散元件分辨本领、像差、光路尺寸和探测器像元大小等方面的限制,普通小型便携式光谱仪的光谱分辨率受到了制约。而基于多光束干涉原理的法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)干涉仪在研究光谱的精细结构方面有很大的优势,F-P器件一般能够具有很高的分辨本领。本文针对提高小型光谱仪分辨率的应用需求,通过理论分析F-P腔基本原理,设计制作了一种新型的电容反馈式可调谐F-P滤波器,包括平行反射镜构成的腔体、压电陶瓷(PZT)调谐部件、电容传感与反馈电路三部分。经过光谱实验测试,此可调谐F-P滤波器的精细因子能够达到15,同时滤波器的自由光谱范围可以达到3nm,通过压电陶瓷能够扫描整个光谱范围,结合色散型光谱仪系统可以在宽谱段范围内获得优于0.2nm的光谱分辨率。此外,在平行平面腔的基础上加入了电容传感器,制作了电容传感与反馈控制电路并编写了相应软件,通过对腔体上电容的探测和反馈控制,能够实时得到F-P滤波器的腔长且保持腔体的平行性,拥有良好的滤波特性。本文研制的电容反馈式可调谐F-P滤波器具有结构简单、体积小、适用波长范围宽、自由光谱范围较大、抗干扰能力强、成本低等特点,经实验验证能够适用于小型光谱仪分辨率增强的应用。