电容式微超声换能器等效电路模型与优化设计

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【摘要】

：

随着微机电系统的发展,微超声换能器在医学超声成像、工业无损检测、航空航天等领域具有广泛的应用前景。微超声换能器主要包括电容式微超声换能器(CMUT)与压电式微超声换能器(PMUT),相比之下,CMUT具有频带宽、与空气、液体的阻抗匹配性好的优点,具有重要的研究价值。本文以电容式微超声换能器超声成像为应用目标,开展了电容式微超声换能器阵元与阵列的研究工作,主要进行了非线性等效电路模型的建立、SPIC

【作者】

：

石建超

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2016年12期

【关键词】

：

微机电系统电容式微超声换能器等效电路瑞丽-里兹法

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