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基于样品旋转的亚波长光刻理论研究

来源 :兰州理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：JK0803_shijiwu

【摘 要】

：

亚波长结构在微纳光学领域具有重要和广泛的应用,其制备通常采用化学合成或亚波长光刻的方法。表面等离子体干涉光刻在成本和分辨率方面均有一定的优势,因而受到研究人员的青睐,但是现有的研究主要集中在刻写简单的一维亚波长光栅上,要实现复杂的二维亚波长结构的刻写,通常采用多束激发光激发表面等离子体干涉来实现,这显然存在光路复杂、技术难度大、成本高昂等不足。本文从理论上研究了基于样品旋转的表面等离子体干涉亚波长

【作 者】

：

庞志远 

【出 处】

：

兰州理工大学

【发表日期】

：

2019年01期

【关键词】

：

表面等离子体 导模 亚波长光刻 亚波长结构 样品旋转 

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