氧化钨薄膜的磁控溅射法制备及其电致变色性能研究

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电致变色材料及器件在节能窗、变色车窗、军事防伪等方面均有着广阔的应用前景,在无机变色器件中常选择氧化钨作为主变色材料,但大多数研究集中在氧化钨致色材料某一单方面性能的研究如致色效率的提高,而对循环寿命、光学调制幅度、响应时间等综合性能关注较少。本文用磁控溅射法制备氧化钨薄膜,探讨了工艺参数对电致变色性能的影响。得到的实验结果如下:1、当氧氩流量比比值由0.1增加至0.2时,薄膜中钨元素为+6价,电致变色性能显著改善:着色效率达到36 cm~2/C,ΔT_(VIS)增至62%,褪色时间58 s。随氧含
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