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PZT(锆钛酸铅)系压电陶瓷由于其具有良好的压电特性、高的温度稳定性、较大的机电耦合系数,可制作压电振子、压电换能器、传感器和电声器件,在电视、通信设备、测量仪器、汽车电子、医学诊断治疗、航空航天等领域具有广泛的应用市场和广阔发展前景。当前,国际上压电元器件的发展趋势是高稳定性、薄型化、工艺绿色环保。为了引出电极、进行极化等后续工艺处理,必须在陶瓷基片的两个表面被覆导电层,这一过程称为陶瓷金属化,金属化的质量对压电器件的性能与可靠性影响极大。国际上日本等国已经采用溅射技术对部分压电元器件进行