1/f噪声是GMR磁传感器的主要噪声源,严重限制了GMR磁传感器的低频磁场探测能力,本研究团队依托国家自然科学基金提出了磁力线聚集垂动调制磁传感器结构,能有效克服1/f噪声影响,大幅提高GMR磁传感器的分辨力。驱动结构是垂动调制的关键,将会直接影响传感器的磁场调制效率、功耗和抗干扰能力,因此GMR磁传感器高性能驱动结构的研究对于提升传感器的性能具有重要意义。本文对桥结构与悬臂梁结构做了对比研究,结合垂动调制的实际情况,从谐振频率、振动幅度、品质因数、频率稳定性和抗干扰能力等方面对两种结构进行了对比研究,主要工作包括以下几个方面:阐述了磁力线调制的基本原理,引出了磁力线调制结构的作用;从理论上分析了垂动结构振动特性,得到了影响谐振频率与振动幅度的因素,并对两种不同结构作了分析比较;建立了压电振子的等效电路模型,给出了等效参数的求解方法。采用有限元法研究了两种结构的振动特性,建立了两种结构的有限元仿真模型,分析了振动模态,得到了更加适合于垂动调制的模态;并且研究了两种结构的抗干扰能力,从仿真结果来看,桥结构的抗干扰能力更强。对两种驱动结构的尺寸进行了分析与设计,根据所设计的结构尺寸制备了两种驱动结构,在制备工艺中分析了光刻与湿法腐蚀中应该注意的问题及解决方法,重点研究了导电种子层与调制膜的制备流程。最后,测量了两种结构的品质因数和频率稳定性等参数,对结果做了分析与比较。从测试结果来看,桥结构在品质因数与频率稳定性方面都有较大的优势,这说明桥结构更适合用于磁力线垂动调制。