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低浓度丙酮气体的检测在监测工业生产、食品质量、畜牧业和疾病等中有重要的作用,因此,对丙酮气体的检测很有必要性。ZnO是最早应用于气体传感器的金属氧化物半导体气敏材料之一,通过掺杂Co可以改变ZnO薄膜的表面形貌,改善对丙酮的气敏性、选择性等。本实验中以ITO玻璃为基体,采用电沉积法制备Co掺杂ZnO薄膜。通过扫描电镜(SEM)和X衍射(XRD)对其表面形态和成分进行表征。分析表明,制备的Co掺杂ZnO薄膜传感材料表面颗粒大小均匀,颗粒间空隙较多。从沉积电压、沉积温度及溶液浓度等方面优化了Zn