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SmCo是一种新型的稀土磁性材料,因其在磁存储、磁光存储的潜在应用而成为研究热点。它具有极大的磁晶各向异性,此外,其居里温度较高,抗腐蚀性能相比于传统材料也更加优异,SmCo主要包括了1：5和2：17两种磁性相。随着设备及器件小型化及轻便化的发展需求,高质量SmCo薄膜的制备与性能研究势在必行。研究表明,底层材料对SmCo薄膜的结构及性能有很大影响,Ru、Ta、Ti等缓冲层能有效降低SmCo薄膜表面不平整度,同时降低磁性晶粒的平均尺寸。因此,详细研究制备工艺对SmCo薄膜的影响,以及对其磁性能和磁光