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随着器件微型化、功能化、集成化的发展,单一组成的介电、铁电材料已无法满足现代生产生活需求,可以将具有不同性能的介电和铁电薄膜复合,以达到提高性能和扩展应用的目的。本文以PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3(PZT)、Ba(Mg_(1/3)Ta_(2/3))O_3(BMT)薄膜为研究对象,研究介电与铁电之间的相互作用以及叠层顺序、异质界面个数、界面介电常数对BMT/PZT异质叠层薄膜性能的影响,并对BMT/PZT异质叠层薄膜性能增强机理进行研究。本文采用sol-gel法制备PZT薄膜,采用水