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近年来,CoCrMo合金凭借其良好的生物相容性和力学性质逐渐成为骨科植入材料的首选,广泛应用在临床硬组织和器官的替换中,然而Co, Cr离子的潜在毒性在一定程度限制了它的临床应用。为了降低Co, Cr离子的释放,对CoCrMo进行表面改性研究引起了广大研究者的重视。本文采用等离子体浸没离子注入与沉积的方式对CoCrMo合金进行了低压高频氮化处理和类金刚石(DLC)薄膜的沉积。研究了不同氮气气压和射频功率对氮化层成分、结构和性能的影响;进一步研究了C2H2—Ar混合气体中的Ar含量以及基体偏压对类碳薄