本文利用有限元法数值模拟计算模型和实验研究了紫外激光对石英玻璃损伤机制。其中在数值模拟计算激光对石英玻璃内容中主要是分析了1064nm激光、355nm激光和266nm激光对石英玻璃诱导损伤的影响。在数值模拟计算内容中研究了3个激光波长辐照石英玻璃时瞬态温度变化、应力分布,同时分析了激光波长因素和激光能量等因素的影响。发现随着激光输出能量的不断增大石英玻璃的温度与应力也不断增大。给出数值模拟计算紫外激光对石英玻璃1064nm激光、355nm激光和266nm激光的损伤阈值。其中在实验时分别用355nm激光和266nm激光对石英玻璃诱导损伤研究,给出了355nm激光对石英玻璃诱导损伤阈值。为了提高石英玻璃的在抗355nm激光损伤能力,利用HF酸处理提高石英玻璃355nm激光诱导损伤阈值,通过优化HF溶液浓度以及石英玻璃表面的酸处理时间,石英玻璃的透过率和损伤阈值均有所提高,均随HF酸溶液的浓度以及HF酸处理时间的增加呈现先增加后下降变化。实验结果表明质量分数10%的HF浓度刻蚀60分钟后石英玻璃的355nm激光损伤阈值为1.9×109W/cm2,相比酸处理前提高了167.61%。对比分析了相同355nm激光和266nm激光能量密度的作用下有无HF酸处理的石英玻璃表面时损伤形貌变化,也分析了有酸和无酸处理后的损伤半径和损伤坑深情况,最后给出了HF酸处理提高石英玻璃的激光诱导损伤阈值机制。本篇论文中得到的有限元数值模拟计算和实验研究结果可以为紫外激光对石英玻璃诱导损伤的有限元数值模拟计算方法和实验科研中提供理论与现实的依据,同时得到的有限元数值模拟计算和实验研究结果也为紫外激光技术的不断发展与应用范围提供理论依据。