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近年来,微波电子回旋共振(ECR)等离子体源越来越受到人们的关注,因为它能在低气压下产生高密度、高电离度、大体积均匀的等离子体。微波ECR等离子体还具有无内极放电和放电离子低溅射率的优点,正是由于这些优点,使其在刻蚀技术、薄膜制备技术和离子源等方面得到了广泛应用。而应用效果的好坏直接与等离子体的重要参数电子温度、离子密度、能量分布等相关。因此,准确可靠的测量等离子体放电参数不仅对等离子体基础理论的研究,而且对应用等离子体工艺技术的改进都是十分重要的。目前,国内多数等离子体应用领域均缺少对