地表形变是我国近些年出现的严重地质灾害之一,如何有效的、实时的监测地表形变,为相关部门提供防控依据,是目前摆在国内科研者的重要研究任务。DInSAR技术作为先进的地表形变监测手段,近些年得到了飞速发展。但传统DInSAR受时间、空间失相干以及大气干扰的影响,难以满足目前形变监测精度。本文旨在利用时间序列SAR影像及卫星水汽数据克服DInSAR的局限性,高精度的反演地表形变信息。为此,本文主要做了以下研究:(1)深入剖析了InSAR、DInSAR的基本原理和数据处理方法,详细分析了InSAR处理过程中的去相干源。(2)开展了InSAR大气改正方法研究。在分析出InSAR测量中大气效应主要由水汽引起后,对目前利用卫星水汽产品(GPS、MODIS、MERIS、FY)进行大气改正的方法进行了深入的研究和比较,在此基础上,发展了MODIS/ASAR大气改正方法,并通过实验验证了该方法的有效性和可靠性。(3)开展了高相干点选取方法研究。对目前主要利用的基于幅度离散特性、相干性和相位稳定性的方法进行深入研究,分析每种方法的适用条件和不足之处,通过选点实验对比分析,确定相位稳定性分析法为本文高相干点选取方法。(4)开展了时间序列InSAR反演地表形变的技术研究。针对PS方法和相干目标法的优势和不足之处,发展了一种基于高相干点的小基线DInSAR技术,利用该技术对太原地区2004-2007年地表形变情况进行反演,与实测水准数据相比,精度满足我国对城市地表形变观测的精度要求。