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通过磁控溅射方法在烧结钕铁硼磁体表面分别沉积SiC薄膜、SiC/Al双层膜、SiC/AIN双层膜和(SiC/AlN)2多层膜。通过XRD、AFM、FESEM、电化学工作站和超高矫顽力永磁脉冲测试仪对镀膜试样进行结构和性能的测试,同时研究沉积不同薄膜的钕铁硼试样在酸、碱、盐溶液中的耐腐蚀性能。具体内容如下：第一章概括了永磁体的种类,永磁材料钕铁硼的发展背景史、制备手段、结构成分、烧结钕铁硼永磁材料的三种腐蚀原理以及如何提高抗腐蚀性能的方法。综述了本课题的背景、主要内容和创新点。第二章罗列了实验过程中所需要的材料和设备仪器,并对磁控溅射的工作原理和薄膜的形成过程做了主要的介绍,同时还对各种表征测试仪器做了简单介绍：X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM).和上海辰华电化学工作站等。第三章研究在钕铁硼磁体表面沉积不同膜厚的SiC薄膜,利用FESEM对薄膜的形貌和结构进行分析,并比较在0.62 mol/L NaCl、6.25 mol/L NaOH和0.10 mol/L H2SO4三种溶液中镀有不同厚度薄膜的钕铁硼试样的耐腐蚀性能。结果表明,镀膜的钕铁硼试样比未镀膜钕铁硼的耐腐蚀性能要好,而镀510 nm SiC薄膜的钕铁硼比镀410 nm SiC薄膜的钕铁硼的耐腐蚀性能要好。第四章研究了在钕铁硼基体上沉积A1膜作为缓冲层来提高SiC薄膜与钕铁硼基体的膜基结合力。对比未镀膜钕铁硼、镀单层SiC膜的钕铁硼、镀单层A1膜的钕铁硼和镀SiC/Al双层膜的钕铁硼的结构、形貌、磁学性能,以及在这三种腐蚀溶液：0.62 mol/L NaCl.6.25 mol/L NaOH和0.10 mol/L H2SO4中的抗腐蚀性能。结果发现,A1缓冲层明显提高了SiC薄膜的粗糙度,使颗粒细小均匀,同时提高了钕铁硼磁体的耐腐蚀性能。第五章研究了在钕铁硼基体上沉积不同周期的SiC/AIN薄膜。通过XRD、FESEM检测钕铁硼基体上沉积薄膜的结构和形貌,并研究在0.62 mol/L NaCl、 6.25 mol/L NaOH和0.10 mol/L H2SO4三种溶液中NdFeB上镀有不同周期的SiC/AlN薄膜的耐腐蚀性能。结果表明,多层SiC/AlN薄膜成功地阻断了SiC薄膜的柱状生长,镀膜后的钕铁硼主相的结晶程度增加,镀膜钕铁硼的抗腐蚀性能比未镀膜钕铁硼好；镀有(SiC/AlN)2多层膜的NdFeB试样的耐腐蚀性能比镀有SiC/AlN双层膜的NdFeB要好；在酸、碱、盐溶液中,镀有(SiC/AlN)2多层膜的NdFeB试样在酸溶液中的耐腐蚀性能最佳。第六章总结了全文并对钕铁硼表面防护工作未来研究方向进行展望。