磁控溅射法制备TiNxOy光谱选择性吸收薄膜

来源 :华南理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lihaolong2005
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该工作以直流反应磁控溅射方法作为制备手段,选择Ti为靶材,以N<,2>,O<,2>两种气体为反应气体,反应磁控溅射制备折射率渐变的TiNxOy多层陶瓷薄膜,使之具有较好的光谱选择性吸收特性和装饰效果,可应用于平板型太阳能热水器的吸热表面并直接作为光热转换建筑材料.通过大量的实验和分析,对影响工艺和薄膜质量的因素进行了归纳,获得了比较稳定的溅射条件和操作工艺,工艺重复性很好.通过透射电子显微镜(TEM),扫描电子显微镜(SEM),x射线光电子能谱(XPS)分析薄膜的微观结构,并对太阳辐射吸收率和发射率以及薄膜的光学常数进行了测试.实验初步优化的结果为吸收率αs≈0.92,发射率ε≈0.03;样品表面颜色均匀,为具有装饰效果的蓝色薄膜.这对于平板型集热器和制造具有光热转换功能的太阳能建筑材料都具有积极的意义.
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