本文阐述了热式气体质量流量传感器的基础理论、工作原理、设计过程以及制作方法,并给出最后的测试结果。在传感器工作原理论述中,讨论了热式流量传感器的几种工作方式,对其工作方式的优缺点进行了比较,阐述了本论文采用恒温补偿式工作原理设计思路。在传感器的设计过程中,采用了与传统热阻效应明显区别的旁热式加热结构,即加热器与测温器单独设计,并采用微电子技术和微机械加工技术,在硅衬底上设计制作微型加热器和测温器。通过设计和加工悬桥结构芯片,能够有效降低敏感芯体的热容量和传热速率,保持敏感芯体的高灵敏度并且详细地阐述了其工艺过程。主要工作放在芯片部分的研制。从敏感芯片热敏电阻材料的选取、悬桥结构设计和制备、芯片封装结构设计等方面进行了详细的理论分析和反复的实践验证。运用有限元分析热温度场与气体流速的关系。最后,对所研制的传感器进行了性能测试和环境考核,试验结果表明此传感器性能良好,达到了国内先进水平。总之,此传感器具有灵敏度高、体积小、易于集成等优点,已被应用到航空、航天领域气体流量测控,满足了军工领域的需求。