无氟MOD法制备YBCO高温超导薄膜

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本文在LaAlO3单晶基底上采用无氟金属有机物沉积(Metal-OrganicDeposition, MOD)化学法制备了第二代YBCO高温超导薄膜。YBCO薄膜最终的材料结构、超导性能与处理工艺的各项参数直接相关,本文研究了浸涂参数、外延生长温度、外延生长时间、水分压、添加剂等对薄膜结构与性能的影响。采用TG-DTA考察前驱液溶剂失重温区和羧酸盐溶质的分解温区;XRD图谱扫描证实薄膜具有高度一致的c轴取向;SEM扫描电镜观察薄膜微观形貌致密无孔洞,无严重偏析;SEM扫描电镜断层得到薄膜厚度;测得薄
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