单片微型机(Single Chip Microcomputer),简称单片机,又称微控制器(MCU-Micro Controller Unit),具有体积小、功能强、性能全面、成本低、使用方便等特点,在家用电器、汽车工业、工业控制、自动化等很多领域得到了广泛的应用。MC68HC(8)05PV8/A单片机属于MOTOROLA单片机中的68HC05家族8bit系列,是专门为汽车电子中的低功耗、单片上系统设计。由于MC68HC(8)05PV8/A应用于汽车电子领域,其产品要求有很高的可靠性,而对于其内部所包含的EEPROM,由于需要承受多次擦写操作,其隧道氧化层要承受高压和高电压,因此其可靠性的高低就成为影响产品良品率好坏的重要因素。本课题针对MC68HC(8)05V8/A产品良率不高的问题,从工艺和制程方法等方面分析其对良率的影响,找到问题所在,并提出以下几方面的问题解决方案: 首先,观察产品在后道工艺特别是老化实验和最终测试阶段的工艺制程,找出其中存在的老化实验时间设定不准确的问题,并通过计算、采样、实验和分析结果等步骤,得出准确的产品的偶然失效期时间和老化实验时间。其次,针对在老化实验中出现的大量由于设备和人为的原因造成的次品,并不属于真正次品的问题,通过对老化实验程序的修改,减少了次品的产生,提高了产品在最终测试的良品率,并减少了生产周期。第三,从EEPROM的工作机理和工艺角度分析,找到主要影响EEPROM性能的主要原因,发现阈值电压对EEPROM的影响,及其影响其可靠性的相关因素,包括内在可靠性和击穿问题等方面,并通过实例分析提出解决方法,指出EEPROM中浮栅及隧道氧化层的质量好坏,将严重影响器件的可靠性,如何从工艺角度改进,提高器件的可靠性,并提出了几个新的工艺方法。