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该文使用射频磁控溅射的方法制备了Ag/Fe、Ag/Co、Ag/Cu、Cu/Fe、Al/TiAl等几组多层薄膜材料,依据基片曲率法的原理研制了一套薄膜应力的测量系统,并用它实时测量了多层膜试样在退火过程中的应力变化.采用SEM、TEM、XRD等技术对退火后的试样进行了微观分析,根据双向零蠕变法的原理计算了多层膜的层间界面能.在界面能的计算中,引入了修正系数Φ,并排除了表面能的影响.微观分析表明Ag/Cu和Cu/Fe多层膜在退火过程中层结构崩塌,由于层间界面被破坏,无法测量它们的界面能.Ag/Fe多层膜退火过程中伴随有再结晶和晶粒长大等过程,退火之后层间界面保持完好,Ag/Co和Al/TiAl多层膜也具有类似的特点.在零蠕变状态下,多层膜的二维应力所做的功与层界能作用达到平衡,经过计算,550℃时Ag(111)/Fe(110)界面能为0.97±0.13J/m<2>,450℃时Ag(111)/Co(111)界面能为1.02±0.17J/m<2>,500℃时Al(111)/TiAl(111)界面能为0.34J/m<2>.