硬质合金因具有高熔点、高硬度、化学稳定性好、热膨胀系数低的优点,广泛应用于刀具、模具等方面。为了改善硬质合金的表面性能,本文采用金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)离子注入技术在YG8硬质合金基体表面进行了6种不同的离子注入工艺:离子注入C、V、Cr、C+V、C+Cr、C+V+Cr,并且讨论了不同的注入剂量对试样表面性能的影响。本文利用X射线衍射仪(XRD)对表面物相结构进行了检测;应用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了注入层各元素的价态和含量随深度的分布状况;利用拉曼光谱分析仪对类金刚石(DLC)相进行了检测分析;应用维氏硬度计、摩擦系数试验机和电化学腐蚀平台分别对改性层显微硬度、摩擦磨损性能和抗腐蚀性能进行了测试和分析。测试和分析结果表明,用40KV的引出电压对YG8硬质合金进行V离子注入可以达到约800纳米的注入深度;离子注入能提高试样的表面硬度,最大剂量三离子注入样品的维氏显微硬度(HV)可以达到2692,相对于基体增加了约60.8%;离子注入能降低硬质合金表面的摩擦系数,小剂量的多离子注入就能很显著的降低材料表面摩擦系数;拉曼光谱分析结果表明,通过MEVVA源对硬质合金进行大剂量的C离子注入也可以形成类金刚石相,C+V+Cr三离子注入后更容易发现DLC特征;电化学腐蚀测试结果表明,离子注入后腐蚀电位无明显改善,但腐蚀电流和腐蚀速率都有大幅度降低,小剂量的离子注入就能很明显的降低硬质合金的电化学腐蚀速率,其中Cr、C+Cr、C+V+Cr离子注入样品降低腐蚀速率效果较为明显。由此可见,我们可以选用适当的注入元素和注入剂量来得到所需的性能。